科技日報訊 （記者魏依晨）3月15日，由中國電工技術學會主持、寧夏超導泛科技有限責任公司（以下簡稱“寧夏超導泛科技”）牽頭組織的“高溫超導磁控硅單晶生長裝備、技術及應用科技成果鑒定會”在寧夏銀川市舉辦。
據悉，寧夏超導泛科技成立于2024年12月，由寧夏盈谷實業(yè)股份有限公司、江西聯創(chuàng)超導技術有限公司等多家企業(yè)和自然人聯合投資設立。
鑒定會上，由中國科學院院士甘子釗領銜的專家委員會對項目進行了全面評估。專家一致認為，該技術填補了我國在高端硅晶體制造領域的多項空白，綜合性能達到國際領先水平。
據介紹，高溫超導磁控硅單晶生長裝備、技術及應用的關鍵，在于引入高溫超導磁體技術。科研團隊針對高品質大尺寸硅單晶生長技術瓶頸，研制出高溫超導磁控硅單晶生長裝備，形成大尺寸硅單晶長棒快速、高穩(wěn)定性、低含氧量的生長工藝，實現大尺寸（12英寸以上）高品質硅單晶的生產，經濟和社會效益顯著。
根據項目報告顯示，寧夏超導泛科技自主研發(fā)的高溫超導磁控硅單晶生長設備及技術，可將硅片含氧量穩(wěn)定控制在5ppma（質量百萬分比）以下，硅棒頭尾利用率提升4%以上，生產效率提升12%，目前已拉出直徑達340毫米的高品質硅棒。
甘子釗院士在評審中表示：“這是國際上首次將高溫超導技術應用于磁控直拉單晶生長，為高溫超導技術產業(yè)化做了很多開創(chuàng)性的工作，開辟了超導技術產業(yè)化新賽道?！彼貏e提到，該技術對實現“雙碳”目標具有戰(zhàn)略意義。
專家委員會認為，該項目解決了磁控條件下大尺寸硅單晶生長爐高溫度均勻性節(jié)能型熱場設計、模塊化大尺寸傳導冷卻高溫超導磁體設計、電—磁—熱—流體多場耦合下硅單晶生長分析與控制等關鍵技術難題，取得多項創(chuàng)新性技術成果?？蒲袌F隊研制的高溫超導磁控硅單晶生長裝備，在生產實踐中得到了應用，這表明該項目總體技術水平已達國際領先。
（責任編輯：蔡文斌）
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